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  高純石墨在半導(dǎo)體材料中的應(yīng)用  
發(fā)布時間:2019.12.24 新聞來源:石墨粉價格_超細(xì)石墨粉_膠體石墨_華泰石墨粉 瀏覽次數(shù):
    單晶硅、高純鍺和集成電路等半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的時候,為了防止金屬雜質(zhì)污染半導(dǎo)體金屬,在生產(chǎn)中廣泛采用高純石墨做石墨舟、石墨發(fā)熱元件,以及大小不同的石墨燒結(jié)模等。半導(dǎo)體生產(chǎn)已成為如今高純石墨的大用戶。
    半導(dǎo)體材料生產(chǎn)用高純石墨的生產(chǎn)工藝有擠壓、冷壓和等靜壓三種方法,可以根據(jù)實際情況使用。
    一,擠壓成型的高純石墨粒度比常規(guī)石墨電極的粒度要細(xì),但是比細(xì)結(jié)構(gòu)石墨要粗,可以用來生產(chǎn)比較大的石墨件,比如加熱元件、石墨坩堝等。
    二,細(xì)結(jié)構(gòu)高純石墨是細(xì)結(jié)構(gòu)石墨在石墨化時進(jìn)行化學(xué)純化制得,對于加工精度要求高的石墨件,如集成電路燒結(jié)模,用細(xì)結(jié)構(gòu)高純石墨加工棱、角、溝、槽都可以加工出來。
    三,等靜壓高純石墨是用等靜壓工藝成型,質(zhì)量均勻,是三種高純石墨中較好的,價格也是很貴的。
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